Category: プラズマ装置

プラズマを発生させて照射するプラズマ装置には、ワークの洗浄を行うクリーナーを始めとして、表面改質などの用途に用いるリアクター、半導体分野で活躍するアッシャーなどがあります。 Continue reading 可能性が広がるプラズマ装置

プラズマ装置は半導体の洗浄や各種製品の表面処理を行うために用いられており、環境を汚染する薬品を使用する必要がないというメリットがあります。 Continue reading プラズマ装置の種類と仕組みとは