プラズマ洗浄装置の種類や仕組みについて

扱うのに慎重な作業が必要な半導体や電子デバイスに対して、表面のクリーニングや改質・レジストのアッシングなどを行ってくれるのがプラズマ洗浄装置の存在になります。 Continue reading プラズマ洗浄装置の種類や仕組みについて