プラズマ装置の特徴や活用術について

プラズマ装置は、表面処理装置の一つです。高圧電源とロッドでプラズマビームを作り出す、これを素材の表面に照射して分子を励起させ表面をきれいに仕上げる、このような特徴を持つのがプラズマ装置です。加熱したフィラメントからビームが出て来るのですが、これは熱電子と呼ばれるもので、電子顕微鏡やブラウン管の電子銃と原理的には同一です。プラズマ装置はドライ洗浄のプラズマ技術などからも環境に優しい、半導体や電子デバイス製造の中でのアッシングやエッチング、レンズなど幅広い分野で活用されているといいます。

一般的に表面処理と聞いた際にメッキなどの加工技術をイメージされる人も多いかと思われますが、プラズマ処理はプラスチックや金属表面など有機物洗浄、接着性などの親水性の向上に役立てることができます。この世にあるすべてのモノには、必ず原子と呼ぶ非常に小さな粒の集まりでできているわけですが、原子には原子核とその周囲を周っている電子で構成されています。原子核には、プラスの電荷を持つ陽子と電化を持たない中性子で構成されています。エネルギーをモノに与え続けた場合、温度が上昇して個体は液体になる、液体は気体に変化しさらにエネルギーを与え続けると気体分子は離脱して原子になる、原子核の周囲を周っていた電子は離れてプラス電化を持つイオンおよびマイナス電化を持つ電子に分離します。

この分子がイオンとマイナスの電子に分かれている状態をプラズマと呼びます。

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