プラズマ装置のメリット・デメリット

プラズマ装置を用いて製品の表面に付着した不純物を除去(洗浄)したり、固体表面の化学的な性質を変化させる方法が用いられています。従来は不純物を除去したり表面処理を行うために洗浄液や薬品が使用されていましたが、プラズマ装置を使用する場合はドライ環境で処理を行います。プラズマ装置の大きなメリットは、溶剤・洗浄液・強酸や強アルカリといった薬品を使用せずに処理ができることです。処理を終えた後に洗浄液や薬品を洗い落としたり乾燥させる必要がありませんし、有害な廃液が発生することもありません。

精密な電子回路に付着した汚れを除去する場合は洗浄液を使用することができないので、ドライ洗浄をする他に手段がありません。プラズマ装置には多くのメリットがありますが、いくつかのデメリットも存在します。大きなデメリットは、イオンやラジカルを発生させるために減圧環境下で処理を行わなければならないことです。毎回真空ポンプを使用して容器内の空気を抜いて減圧させて、ガスを封入しなければなりません。

反応容器のサイズには限界があるので製造現場で多くの製品を処理する場合は連続的な作業ができず、ロットごとに出し入れをする必要があります。プラズマ装置はドライ環境下で洗浄や表面の改質処理ができるというメリットがありますが、連続的に処理を行うことができないので手間やコストがかかってしまいます。そのため、現状では付加価値の高い製品を製造する際にのみ使用されています。

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