プラズマ洗浄装置の技術による洗浄

プラズマ洗浄装置を活用することで、従来では落ちなかった汚れも徹底的に落とすことが出来ます。幅広い分野で使われてきた薬液を用いるウェットクリーニングと、ドライクリーニングに比べ、プラズマを使った技術であればコスト抑えることもできます。プラズマ洗浄装置で使われるプラズマは、薄膜形成・表面処理あるいは表面改質・大気汚染物質の分解、無害化に利用されています。真空プラズマ装置と大気圧プラズマ装置がありますが、大気圧プラズマ装置は低圧プラズマ装置のような真空装置は必要ありません。

そのため安価で工業的に有利な技術です。有利ではありますがプラズマ制御が難しいので、誘電体バリア放電という大気圧プラズマ生成技術を使うことで課題が解決します。真空プラズマ装置は真空排気系(真空ポンプ)などを必要とするため、数億円を超えることもある非常に高価な装置です。プラズマの制御性が非常に高いため、コストに注意しながらの導入となります。

プラズマ洗浄装置を使用した事例ではプリント基板製造があります。半導体デバイスの微細化に伴い、そのデバイスを実装するプリント基板への微細化の要求が高まっています。従来のウェットクリーニングでは、洗浄の限界が見えているためプラズマ技術を使った洗浄が求められています。プラズマを用いたクリーニング技術は様々な分野で応用が可能です。

セラミックス・医薬品・化粧品などの粉体の表面処理・表面修飾、プラズマガスの選択による各種官能基の導入の可能性などでも活躍するでしょう。さらに処理コストの低減は最重要課題となります。

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