プラズマ装置とは何にか?

プラズマ装置は電子基板や金属、プラスチック材料などを、加工処理するのに使用します。材質や形状など関係なく加工処理ができます。具体的な処理として、プラズマクリーニングや表面の改質、表面改質による親水性の改善、パウダートリートメントなどが挙げられ、様々な用途に使用されている装置です。プラズマとは物質にエネルギーを与え、その状態が固体から液体へ、液体から気体へと変化させ、さらに気体にエネルギーを与え続けると、気体がイオン化された状態を指します。

固体・液体・気体に次ぐ物質の第4の状態です。これを高エネルギープラズマ状態といいます。目に見えるものでは、自然界においての稲妻やオーロラ、日食時に見える太陽の周りの輪(コロナ)もその一つに挙げられます。プラズマには粒子の温度が全て高い高温プラズマと、電子温度のみが高い低温プラズマがあります。

高温プラズマはエネルギーを作る目的として使用され、高温高密度による核融合や、熱エネルギーを利用したアーク溶接・切断・溶射に使用しています。低温プラズマは、産業用として半導体づくりのための薄膜の合成や表面改質、殺菌・除菌・消毒などとして、色々な分野で使用され、表面の改質では、環境に優しい溶剤不使用の塗料や接着剤などを作り活用しています。プラズマ装置には、大気圧プラズマ装置や真空プラズマ装置などがあり、小型の物では卓上型や、最小ではペン型のものあるので、使用する場所や用途によって選ぶことが出来ます。

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