プラズマクリーナーの役割

プラズマクリーナーは、高エネルギープラズマ等から生成された誘電体バリア放電を使い、不純物や汚染物質を除去する装置です。プラズマは高周波電圧によって、低圧ガスをイオン化することで生成します。プラズマ状態では、ガス原子が高エネルギー状態でイオン化されています。平行平板方式では、反応室内に反応性ガスを注入し、減圧状態に保つ流れとなります。

電極間に高周波を使ってプラズマを発生させ、基板表面などの汚れと反応させ除去するものです。半導体デバイスの製造現場では、ウェハレベルでのプラズマクリーナーが必要となります。現在は、必要な量を素早く洗浄することが求められているわけです。部材の処理には表面処理などの後工程だけでなく、前工程も大事な要素となります。

ウエハレベルの均一性の高いプラズマクリーナーの存在は、精密機器を製造する現場には不可欠なものと言えます。通信や発光装置の分野では、非シリコン系のウエハが採用されることが少なくありません。こうしたウエハは研磨されることで薄くなり、装置での対応が難しくなる傾向があります。それでも経験とノウハウによって、多種多様な素材のハンドリングを可能にするのがポイントとなります。

プラズマクリーナーは、今後もさらに需要が伸びると予想されます。IoTやAIの分野では、デバイスの小型化や集積化が加速的に進んでいます。それ故、高度なプラズマクリーナーの技術が必要となってくるわけです。

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