プラズマクリーナーについて

プラズマクリーナーを利用して、低圧環境下で洗浄対応物の表面をクリーニングすることが可能です。用途に合わせてガスを選択することも可能です。HIC基板やリードフレームのポジティング面洗浄による強度の向上や、表面改造による濡れ性改善に最適なシステムです。特徴としては、平行兵居た方式のチャンバーにより、洗浄対象にむらなく塗ることが可能です。

また、洗浄対象にたいして、エレクトロンフリープラズマ、アクティブプラズマなどがあります。12種類のクリーニング条件により選択できます。洗浄対象に応じて5種類のプラズマモードを使い分けることも可能です。ダウンストリームエレクトロンフリープラズマなどから選ぶことができます。

プラズマクリーナーはメーカーによって特徴が異なりますので、考慮して選ぶことが大切です。現在はプラズマクリーニングの需要が増えてきています。スマートフォンなどに限らず新しいシステムのトレンドはデバイスの小型化、集積化をさらに加速させています。それに伴いさらに高度なプラズマクリーニングが必要となってくると想定されます。

残油・油膜をプラズマ処理することにより、洗浄させることができます。金属箔、特にアルミ箔は幾度の圧迫工程により、圧迫油と呼ばれる油の膜が残ります。その油膜は次の塗工工程の塗り不良にいたり、ジェット噴射や乾燥工程で除去は難しいと言われています。こういった状態でもプラズマクリーナーならば、除去が可能です。

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