プラズマ洗浄装置とは

プラズマ洗浄装置とは、主として酸素ガスに対して放電を起こすことで反応性の高いイオンを連続的に生成させ、通常の酸素分子以上に酸化力の強いイオンによって対象物表面に付着している汚れを化学的に酸化分解して除去する装置のことです。汚れの洗浄であれば水と洗剤を用いることで十分というケースももちろん多いでしょうが、一方でそれでは不十分なこともあります。洗剤による洗浄は、界面活性化作用によって汚れを水の中に取り込んでしまうことで落とそうとするわけですが、どうしても浸透力に限界があります。水のような液体が入り込めないくらいに細かい隙間などでは十分な洗浄は期待できません。

ところがプラズマ洗浄装置の本質であるイオンはある意味で気体であり、微細な隙間にも全く問題なく浸透していきますし、界面活性化作用によって汚れを取り込むのではなく直接的に化学反応を起こして酸化分解するわけですから洗浄力の強さが違います。また、単に表面に付着した汚れを酸化分解するためだけに用いられるのではなく、その反応性の高さを活かしてエッチングなど対象物の表面そのものに適切な特性を付加するといった用途でも用いられています。例えば対象物の表面に親水性の官能基を付加することで水に対するぬれ性を上げることができます。もちろん一般向けにはプラズマ洗浄装置のようなものは普及している訳では決してありませんが、産業分野、工業分野では利用が広がっています。

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