プラズマ洗浄装置の種類や仕組みについて

扱うのに慎重な作業が必要な半導体や電子デバイスに対して、表面のクリーニングや改質・レジストのアッシングなどを行ってくれるのがプラズマ洗浄装置の存在になります。多数の企業が導入していて活躍の場がたくさんあるのがプラズマ洗浄装置になりますが、その仕組みは一体どうなっているのか紹介していきます。まず、プラズマ洗浄装置にはいくつかの種類が存在していて、粉体やミクロサイズの材料・電子デバイスなどの親水化を可能とするのが粉体親水化用プラズマ装置であり、プラズマ中で粉体を高効率でかき混ぜることができるため効果的な粉体親水性を付加することができます。そして、非常に小型で置くスペースに全く困らないのが小型プラズマ装置の存在です。

今まで使用する際に面倒だと感じていた高周波使用申請が不要になりますし、質の高いポンプが内蔵されているので洗浄力が抜群です。製品の種類によってはダイヤル式タイマーで時間を設定することも可能なので、スタートボタンを押すだけで直ぐに作動してくれるなど簡単に操作できる点も魅力でしょう。電子基板や金属・プラスチック・粉体などを問わず洗浄でき、材質や形状を気にせずに使用できるのがプラズマ表面処理になります。低圧型と大気圧型の2種類がありますが、どちらもプラズマクリーニングや表面改質・親水性改善・レジストアッシング・パウダートリートメントなどの処理ができるので、プラズマ洗浄装置の中では最も汎用性が高いと言われています。

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