プラズマクリーナーとは

プラズマクリーナーとは、プラズマ(気体の分子から電子が飛び出して、自由に動きまわる状態)の化学作用によって、試料表面に付着したカーボン系の汚れを分解して除去し、汚染を防止するプラズマクリーニングを行うための機械のことを言います。プラズマクリーナーの主な使用用途は産業においての洗浄です。従来の洗浄の技術では、洗浄能力に限界があり、化学洗浄での洗剤の跡が表面に残ってしまったり、洗剤のカスが付着したままだったりする問題がありました。ですが、プラズマクリーナーで低圧プラズマ技術を使うことによって、有機汚染を起こさない洗浄を実際にすることが可能になりました。

ほんのわずかな時間で、ほとんど表面に跡が残らない処理を実現することができます。プラズマの仕組みと原理は、日常で私たちが触れることは滅多にないので大変考えづらいですが、半導体等の電子部品製造装置のメーカーである「サムコ」の平行平板方式を採用したプラズマクリーナーでの原理は、反応室内に反応性ガスを導入して一定の減圧状態に保った後に、電極間に高周波を印加してプラズマを生成し、基板表面の汚れと反応させることで洗浄するという原理を使っています。どのプラズマクリーナーを使用するかを選ぶには、産業での次の工程における各種の接合性や密接性を改善できるものを選ぶことや、故障しづらくて保証期間の長いものなどを考慮した上で、コストを考えて選ぶことが大切だといえます。

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