プラズマクリーナーの有用性

近年スマートフォン等の電子機器の小型化、多機能化は加速傾向にあります。それに伴い、端末に使用される半導体や電子部品の小型化も進み、多くの機能が一つのチップに集積化されるようになりました。プラズマクリーナーとは、微細化したチップ等を洗浄するための洗浄機器のことです。そもそもプラズマとは、物質がある一定以上の温度になった時、電離が起こり、分子や陽イオン、電子が混在した非常に活性化した状態を指します。

自然界では、稲妻やオーロラといった現象がその状態に当たります。このプラズマは、ものづくりの分野で幅広く活用されています。プラズマクリーナーもそのひとつです。仕組みは、まずプラズマにより表面上の汚染物質の結合を分解します。

酸素ラジカルと呼ばれる物質が、分解されてできた有機汚染物質と結びつきます。結果二酸化炭素や水に分解され、汚染物質が除去されます。では何故クリーナーにプラズマが用いられるようになったのでしょうか。それは反応性の高い粒子であり、小さい粒子が活発に動いている状態、というプラズマの特徴が関係しています。

従来の洗浄の場合、洗剤や乾燥した時の跡が残ってしまうという問題がありました。しかしプラズマの特徴から、微細な加工に適しているため必要な個所だけ、わずかな時間で表面に跡を残すことなく洗浄することが可能となりました。このため、プラスチック基板や液晶板といった傷つきやすいものにも、プラズマクリーナーは適しています。

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