プラズマ洗浄装置とは

プラズマ洗浄装置とは、主として酸素ガスに対して放電を起こすことで反応性の高いイオンを連続的に生成させ、通常の酸素分子以上に酸化力の強いイオンによって対象物表面に付着している汚れを化学的に酸化分解して除去する装置のことです。