大気圧で使えるプラズマ装置
空気などの気体も目に見えませんが、いろいろな原子が存在しています。
進化が止まらない
空気などの気体も目に見えませんが、いろいろな原子が存在しています。
プラズマ装置は気体に高圧をかけてプラズマを発生することができます。
プラズマ装置は、表面処理装置の一つです。
半導体や微細な電子基板の表面に付着した不純物を除去したり表面処理をする目的で、真空式のプラズマ装置が使用されています。
精密な電子デバイスの製造現場やシリコンを扱う工場などであれば、プラズマ装置が用いられることがあります。
プラズマ装置を用いて製品の表面に付着した不純物を除去(洗浄)したり、固体表面の化学的な性質を変化させる方法が用いられています。
半導体や電子デバイスの製造工程では、基板の表面に付着した不純物を除去する洗浄作業を行う必要があります。
今では多くの方が日々、除菌・殺菌に勤しまれていることでしょう。
精密機器や半導体の洗浄工程では、表面に付着した汚れを除去する目的でプラズマ洗浄装置が使用されています。
現代の生活に欠かせないスマートフォンなどの電子機器の内部には、半導体などが取り付けてある基盤が内蔵されており、いわば電子機器の心臓ともいえる大事な部分です。