プラズマクリーナーとは

プラズマクリーナーとは、プラズマ(気体の分子から電子が飛び出して、自由に動きまわる状態)の化学作用によって、試料表面に付着したカーボン系の汚れを分解して除去し、汚染を防止するプラズマクリーニングを行うための機械のことを言います。